电梯在第五层停了下来。
金属门滑开,一股特有的、略带臭氧味道的干燥空气扑面而来。这一层,是整个“前沿技术研究院”的心脏——光源系统实验室。
“老板,请戴上护目镜。”
负责这一层的项目组长,一位从德国蔡司挖回来的光学博士,名叫张明德,早早地候在门口,手里捧着一副特制的防激光护目镜
林平安接过眼镜戴上,走进了那个充满了嗡嗡声和各种管线的巨大实验室。
实验室中央,占据了大半个空间的是一台如同怪兽般庞大的金属装置。
透过特制的观察窗,可以看到里面闪烁着诡异的粉紫色光芒,那是高能等离子体在跳动。
“这就是核心——高功率co2激光器。”
张明德指着那台庞然大物,像是在介绍自己的孩子:
“按照您的图纸,我们采用了多级放大的轴快流技术。这台大家伙,它的谐振腔设计简直绝了!以前我们只敢想几千瓦,这台直接干到了20kw以上!”
“老板,您知道这意味着什么吗?以前ASmL那边的实验机型,现在功率也就才几千瓦,还在为稳定性发愁。而我们,已经能持续稳定输出超过20kw的脉冲激光了!这足以把任何已知的金属瞬间气化!”
林平安点了点头,透过护目镜看着那束看不见的能量洪流。他能感受到里面蕴含的恐怖力量,那是撕裂微观世界的利刃。
“光有激光还不够。”他淡淡地说道,“关键在于怎么用。”
“是的!最绝的是这个!这就是您给我们的最大惊喜!”
张明德带着林平安来到另一侧,那里有一个精密的喷嘴装置,被厚厚的铅板包裹着。
“液锡发生器!”
张明德指着那个微小的喷嘴,眼中满是狂热,甚至可以说是虔诚:
“这才是真正的黑科技!老板,您当初给我图纸的时候,我甚至怀疑这是不是外星人的科技。要把锡融化成液态,然后以每秒5万次的高频,像机关枪一样喷射出来!而且,每一滴锡珠的大小,必须严格控制在30微米,误差不能超过0.1微米!”
“这就好比是在几百米外,用机枪打蚊子,还要枪枪爆头,还要保证每一枪都在蚊子的同一个部位!”
“我们一开始都觉得这是不可能完成的任务。我们试了几千次,喷嘴堵塞、液滴不均匀、甚至飞溅伤人……我们都快绝望了。”
张明德说到这里,眼眶微红:
“但是,当我们按照您后来补充的那个‘双重脉冲预激发’方案,调整了磁场约束参数后……奇迹发生了!”
他按下一个按钮,旁边的高速摄像机屏幕上,显示出了慢放几千倍的画面。
只见一颗颗完美的、晶莹剔透的锡珠,排着整齐的队列飞出。紧接着,一束看不见的激光精准地击中锡珠。
“轰!”
虽然听不到声音,但画面上锡珠瞬间炸裂,变成了等离子体,释放出了耀眼的极紫外光。
每一次击中,都是一次完美的能量释放。
“这就是EUV光源。纯净、强大、稳定。”
张明德的声音充满了敬畏,他转过头,死死地盯着林平安:
“老板,有了这个,我们就掌握了制造7纳米,甚至5纳米芯片的钥匙!这是超越时代的技术!比以前的ASmL方案,整整先进了一代!不,是两代!”
“老板,您……您手里还有这种好东西吗?关于激光器的冷却系统,或者是下一代的自由电子激光,您要是还有想法,哪怕只是个草图,也一定要给我们看看啊!我们这帮人现在别的都不想,就想把这玩意儿做到极致!”
周围的研究员们也围了上来,一个个眼巴巴地看着林平安。他们都是各自领域的顶尖专家,但在这个年轻的老板面前,他们觉得自己就像是刚刚学会走路的小学生,渴望着老师再多教一点知识。
那些图纸,那些参数,在他们眼里就是无价之宝,是真理的碎片。
“放心。”林平安拍了拍张明德的肩膀,“把这个吃透了,更好的东西在后面等着你们。”
……
电梯继续上行,来到了第九层。
这里是光学与机械系统实验室。相比于楼下的狂暴能量,这里显得更加静谧,但也更加精密。地板是防震的,空气中几乎没有一丝尘埃。
“老板,这边请。”
这一层的负责人是李工,一位头发花白的老工程师,曾在国内某精密仪器厂干了一辈子,后来被高薪请出山。此时的他,虽然年纪大了,但腰杆挺得笔直,精神矍铄。
“老板,您那个‘全反射光学系统’的思路,真是绝了!我搞了一辈子光学,从没见过这么大胆的设计!”
李工带着林平安走进了一间超净室。
这里摆放着一组巨大的、形状怪异的镜子。它们不是普通的平面镜,而是有着极其复杂的曲面。
“以前的光刻机,用的都是透镜。就像相机的镜头一样,光线穿过去。那是咱们的传统强项。”
“但是EUV光太娇气了,穿透力极差,任何玻璃都会把它吸收掉。所以,必须用反射镜!但这反射镜的精度要求,简直是变态!”
李工指着那几面镜子,语气中满是赞叹:
“这些镜子,表面镀了上百层钼和硅的纳米薄膜。每一层的厚度,都要控制在原子级别!稍微有一点误差,光线就散了。”
“这还不是最难的。最难的是镜面的平整度。”
李工拿出一张示意图,指着上面的一条近乎完美的直线:
“如果把这面镜子放大到整个地球那么大,那么它表面的起伏,不能超过一根头发丝!这就是您要求的精度!”
“我们按照您的‘离子束修形’工艺,磨了整整两个月,报废了几十块材料,终于磨出来了!”
李工抚摸着那是镜子的外壳,就像是在抚摸情人的肌肤。
“老板,您知道吗?当我们第一次测试反射率达到70%的时候,整个实验室的人都哭了。这是世界纪录啊!蔡司现在的水平也就65%!”